半導体装置や周辺機器の生産技術材料技術洗浄技術中古装置の活用について話せます

エキスパート

氏名:開示前


①半導体前工程(ウエーハ製造)・ウエーハ裏面プロセスの主要装置の開発設計~製作・立上げ及び外部装置メーカー活用の実施。
②前工程・裏面工程製造装置の付帯設備(真空ポンプ・チラー・冷熱器・除害装置等)の選定立上げ実施。
③大電流・電圧テストハンドラー装置の開発設計・製作実施。
④外観検査装置の仕様策定・設計指示・製作立上げ実施。製造ライン導入実績評価実施。
⑤ウエーハを化学薬品によってエッチング・洗浄する装置の開発・設計・製作立上げ実施。薬液ライン構築。
⑥これら含めた製造装置及び製造工程の改善・生産性向上・歩留り品質向上を実施。(生産技術部としての業務)
⑦純水使用による節水・パクテリア防止等の省エネ及び技術的対策を実施。
⑧半導体中古装置及び中古付帯設備の活用実施。
⑨半導体ロボット・AGVの活用実施。
⑩特殊材料関係では、耐熱・耐蝕性の金属・樹脂・ゴム・パッキン(Oリング)・コーティングの選定実施。またセラミックス・SiC材料選定、特殊静電チャック選定、特殊ウエーハ搬送技術開発、薬液フィルター選定、コンタクトプローブ選定、ドライポンプ選定、除害装置選定、洗浄薬液用ヒーター選定、特殊カセット選定、その他諸々の各種材料及び部品関係の選定も行っておりました。

■その他
地域: 兵庫県姫路市、揖保郡太子町
役割: 半導体プロセス生産技術部or製造現場改善(装置・設備・製造ライン)or品質・歩留り改善
規模: 地域工場:1000名、

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氏名:開示前

大手企業での職歴から半導体の前工程(ウエーハ工程全般)と裏面工程(裏面電極)とダイシング・バックグラインドやダイソータ工程(電気特性テスト)によるクリーンルーム工程全般における製造装置の開発設計~外部メーカ製作による装置仕様書の作成及び装置立上げを行うと共に半導体装置及び部品メーカへのコスト削減や半導体の装置作り(究極的)に関しての設計・製作指導(約20~30社)、また自社半導体製造ラインの生産効率UPや設備・装置改善の実施を行い、IE手法等を用いた製造ラインの種々改善(工程改善含め)と処理能力UPや生産性向上・品質改善に努めました。一部は前工程プロセスの改善や開発の実施及び付帯設備(除害装置・ドライポンプ・チラー等)の導入立ち上げの実施と共に外観検査装置の導入立ち上げも行い、化学薬品や純水を使用した装置(洗浄・エッチング)と合せ有機溶剤装置の安全対策も行っています。更に最新のクリーンルーム建屋構造や部屋の構築と製品環境下でのクラス1~10の実現及び既存建屋のクリーンルーム化(クラス10以下)の実施を行い、装置/設備の省エネ対策・環境対策(CO2削減)や省エネ活動を行うと共にBCPによる設備早期復旧や地震対策(6000台)も実施しました。その他ウエーハ裏面プロセスの開発と薄ウエーハや反りウエーハ(100μm厚前後)の搬送技術・プロセスの開発実現。また前工程プロセスにおける特殊部品や部材の選定と共にセラミックス関係の部材選定等も実施。また、特殊材料や化学薬品(一部半導体特殊ガス含め)における知識や経験(安全対策含め)を踏まえた装置開発・設計や製造ラインの構築等の指導も持ち合わせております。特に歩留り・品質クレーム削減に向けた装置の安定稼動への必要ポイントにつきましてご教示することが可能と考えております。また、施設管理支援業務における建屋内動力や純水設備の構築と排水・廃液処理等の環境維持等も実施。半導体製造装置における各種部品選定等も実施しております。一方では労働安全衛生業務、派遣・請負社員への遵法対応や社内規定の作成業務にも従事しTotal的なマネジメントを実施。労働安全衛生業務では、工場安全衛生会議や専門委員会幹事(機械・薬品)を踏まえ火災・労災事故にも遭遇し現場立会いや対策を講じた経験もあります。その他電子部品工場における生産技術による実装装置の開発や組立製造ライン改善・生産効率改善等も実施。プライベートではゴルフやハイキング・旅行を行ったりして過ごしております。宜しくお願い致します。 


職歴

パナソニックデバイスSUNX竜野株式会社

  • 担当 2018/2 - 2018/8

東芝半導体サービス&サポート株式会社

  • 参事 2015/10 - 2017/10

株式会社東芝

  • グループ長(課長) 1974/4 - 2015/9

加賀東芝エレクトロニクス株式会社

  • 主査 1999/4 - 2003/3

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