薄・反りウエハ非接触浮上搬送ハンド技術についてについて話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
半導体製造においては、近年微細化を進めると共に省エネ・電気抵抗低減や反応スピードUP化・コンパクト化が進められてきており、その中における半導体ウエハは薄化により厚さ100μmを切るウエハが半導体製造工程で作られています。SiやSiCインゴットを引き上げてスライング後のポリッシング工程を初め、半導体回路形成工程における製造ラインの中のバックグラインド工程やポリッシング工程、場合によってはCMP工程、その他裏面電極形成におけるメタル膜の成膜工程などで薄ウエハや反りウエハが発生しています。それらを解決するために薄・反りウエハの非接触浮上搬送ハンドの開発を実施。

■話せること
薄・反りウエハの非接触浮上搬送ハンド技術については、従来大型のボディーを持った搬送ハンドは若干見受けられることもありますが、それでは、ウエハカセット(主に25枚収納)の溝部からの出し入れは不可能であり、また狭い上限空間がスペースでの搬送も不可能となっていましたが、それらを解決した搬送ハンドはハンド厚さが2mm程度と薄く、通常のよく使用されるセラミックス搬送ハンドの厚さと同等であり空気の気流を利用して、まずは反ったウエハ(反り量:5~10mm程度)を矯正して平坦化し、ウエハが外周に飛び出さないように外周にガイドピンを設け(ウエハ外周端面のほんの一部のみ接触)、そのままウエハを浮上させて、更に非接触で搬送することが出来ます。よって、ウエハは平坦化されていますので、カセットからの出し入れや狭いスペースからの搬送が可能となり、また、搬送後のウエハ形状は、元の反ったウエハや薄ウエハに戻ります。

■その他
半導体ではウエハ裏面をバックグラインド研削・ポリッシング研削によるウエハの薄化を行っています。また半導体回路を形成するためウエハ裏面側にメタル膜を成膜するため表面側と裏面側の膜の伸び縮みに応じてウエハが反ったりします。そのため今回の搬送ハンドの開発に至りました。ウエハは搬送完了後には元の反りウエハ(反り5~10mm程度)に戻るためウエハカセットは2~3倍溝ピッチのカセットを使用しています。

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氏名:開示前

大手企業での職歴から半導体の前工程(ウエーハ工程全般)と裏面工程(裏面電極)とダイシング・バックグラインドやダイソータ工程(電気特性テスト)によるクリーンルーム工程全般における製造装置の開発設計~外部メーカ製作による装置仕様書の作成及び装置立上げを行うと共に半導体装置及び部品メーカへのコスト削減や半導体の装置作り(究極的)に関しての設計・製作指導(約20~30社)、また自社半導体製造ラインの生産効率UPや設備・装置改善の実施を行い、IE手法等を用いた製造ラインの種々改善(工程改善含め)と処理能力UPや生産性向上・品質改善に努めました。一部は前工程プロセスの改善や開発の実施及び付帯設備(除害装置・ドライポンプ・チラー等)の導入立ち上げの実施と共に外観検査装置の導入立ち上げも行い、化学薬品や純水を使用した装置(洗浄・エッチング)と合せ有機溶剤装置の安全対策も行っています。更に最新のクリーンルーム建屋構造や部屋の構築と製品環境下でのクラス1~10の実現及び既存建屋のクリーンルーム化(クラス10以下)の実施を行い、装置/設備の省エネ対策・環境対策(CO2削減)や省エネ活動を行うと共にBCPによる設備早期復旧や地震対策(6000台)も実施しました。その他ウエーハ裏面プロセスの開発と薄ウエーハや反りウエーハ(100μm厚前後)の搬送技術・プロセスの開発実現。また前工程プロセスにおける特殊部品や部材の選定と共にセラミックス関係の部材選定等も実施。また、特殊材料や化学薬品(一部半導体特殊ガス含め)における知識や経験(安全対策含め)を踏まえた装置開発・設計や製造ラインの構築等の指導も持ち合わせております。特に歩留り・品質クレーム削減に向けた装置の安定稼動への必要ポイントにつきましてご教示することが可能と考えております。また、施設管理支援業務における建屋内動力や純水設備の構築と排水・廃液処理等の環境維持等も実施。半導体製造装置における各種部品選定等も実施しております。一方では労働安全衛生業務、派遣・請負社員への遵法対応や社内規定の作成業務にも従事しTotal的なマネジメントを実施。労働安全衛生業務では、工場安全衛生会議や専門委員会幹事(機械・薬品)を踏まえ火災・労災事故にも遭遇し現場立会いや対策を講じた経験もあります。その他電子部品工場における生産技術による実装装置の開発や組立製造ライン改善・生産効率改善等も実施。プライベートではゴルフやハイキング・旅行を行ったりして過ごしております。宜しくお願い致します。 


職歴

パナソニックデバイスSUNX竜野株式会社

  • 担当 2018/2 - 2018/8

東芝半導体サービス&サポート株式会社

  • 参事 2015/10 - 2017/10

株式会社東芝

  • グループ長(課長) 1974/4 - 2015/9

加賀東芝エレクトロニクス株式会社

  • 主査 1999/4 - 2003/3

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