真空チャンバの設計について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
・真空チャンバーの設計において、シール材の素材や寸法が変わるとチャンバー設計はどのように変化するか
・上記のチャンバー設計が変わる場合、どういった影響があるのか
・真空チャンバーにおける設計変更はどれくらい大変な作業か(時間やコスト、労力等)
・真空チャンバーにおける設計変更はどのように大変な作業か(時間やコスト、労力等)
・今後の半導体業界トレンドとして、チャンバー設計してでも機能UP(更なる高真空になる等)が求められる可能性はあるか

■話せること
シールの選択、シールの厚さと形状、フランジ設計、締結方法など真空の中で有機材料、特殊ガスなど、どのようなプロセスを実施するかにより選択する材料や形状が変わります。またコストとのトレードオフもあり私の真空チャンバを設計するノウハウについてお話しできます。

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氏名:開示前

半導体、FPD、太陽電池製造装置メーカの設計課長として検証装置及び量産装置の開発で培った装置開発技術と自動車メーカの生産技術部で対応したライン構築の経験を生かして生産装置の開発ができます。また流量計メーカの生産技術部部長として大手半導体製造装置メーカ各社と商品開発と生産ラインの設計開発の経験があります。プロトタイプでの事前検証でのフロントローディング設計及び量産装置での歩留まり改善、装置開発、商品開発のための要素技術についてわたくしの経験からお話ができます。


職歴

職歴:開示前


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