半導体生産技術全般/半導体製造前工程全般/最新クリーンルーム構築/製造装置開発・裏面プロセス開発・半導体安全衛生を提供
■ 具体的な経験の内容
① 既存建屋の床フロアー構造における製品レベルのクラス10が達成困難な状況となっていますが、クラス10,000のクリーンルーム化と製品レベルでのクラス10の実現化を達成。また、最新式のクリーンルーム構造の提供ができます。
② 製造工場の生産性を上げるために生産ラインの生産性向上(リードタイム短縮や稼働率UP、ムダの削減、ライン編成、人の削減、設備の配置・運搬等)に向けた提案を提供いたします。
③ 現在の物づくりにおきましては、人よりも機械装置が製造・加工をしていますが、まだまだ品質トラブルや 歩留りの安定性に欠けた面が多々あり、装置の設計段階及び既存装置の改善・改造を含めて、装置の安定稼働に向けた高精度な装置作りを提案できます。そのためには装置の異常監視や管理を更に追加向上させていく必要があります。
④ 既存工場設備・装置において、設備・装置・測定器等の固定化を図り地震対策を行いたいとの意向が多々あ りますが、そう言った中での簡易的で安価な地震対策を提供できます。本件手段による実績では1万台以上となっています。
⑤ 半導体・化合物製品等における薄いウエーハやガラス製品(80~120μm厚さで、且つ5mm前後の反り を有する)を自動搬送・加工する際に割れや欠け、ヒビ、表面キズ等の問題を発生させていましたが、特殊搬送ハンド(非接触浮上ハンド)や補強プロセスを用いて、これらの解決を図っています。
⑥ 装置内で使用する化学薬品の安全性構造や取り扱いと製品洗浄時の機械的構造を提供いたします。特に有機 溶剤では、火災や火傷における安全性確保が必要となります。
⑦ ドライポンプメンテナンス時の動向や実施内容やメンテナンスメーカーの提供ができます。
⑧ 化学薬品使用装置の耐酸性金属材料の使用実績が提供できます。
⑨ 外観検査方法及び検査装置の製造現場使用状況と課題等の提供ができます。
⑩ 真空装置内の薄物製品をバネやクリップで固定した製品が割れたり、キズついたりする状況を解決するための充電機能を備えた静電チャックを使用して真空装置内で薄物製品の固定化が出来る提案を提供します。
⑪ 半導体・化合物等のSi/SiC/透明ガラス製品において、微細な集積回路を設けたチップの回路パターンの一部に二次元バーコードを打ち、チップ製品のトレーサビリティーを行う要求が有り、レーザーにより100μm角内に二次元バーコードを描くことが可能な技術を提供できます。
⑫ 大電流・電圧用テスト工程のテスト方法や測定針について提供できます。
⑬ その他半導体生産技術全般における課題解決・改善やコスト削減・省エネ・環境対策・安全対策等を実現し ました。
■ 実績や成果
会社貢献度としては、これら問題解決や技術開発を行いTotal数百億円規模の成果実績有り。
■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか
知見や文献を参考にしつつ、実施考案を出して試験評価やサンプルの確認を行い、また当初から製造ラインに 組み込み確認作業とデータの取得(社外秘)により実績を積み上げ成果に結びつけました。
■ 業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無
大手車載メーカーや鉄道メーカー及びゲーム機メーカー等多数のプレイヤーを相手に製品の品質や信頼性向上と高精度な製品要求に対する新製品開発とプレイヤーの製造ライン見学と指摘内容を踏まえ、日々向上を目指しています。
■ 関連する論文やブログ等があればURL
関連するインターネット検索内容が多岐に渡り多大に有りますので論文・URL等の添付は省略させて頂きます。
■ お役にたてそうと思うご相談分野
半導体製造工程に類似した液晶(有機EL)や印刷製造工程・電子部品製造及び医療製品製造・その他機械装 置開発~製作やモノづくり工場等の要求にもご相談が展開出来るのではないかと思われます。
■その他
地域: 兵庫県姫路・たつの。石川県加賀。三重県四日市(一時期のみ)。
役割: 半導体プロセス生産技術・装置開発技術・メンテナンス技術・安全衛生における技術担当者~マネジメント経験有り。また一部電子部品製造での生産技術経験有り。
規模: 半導体工場レベルでは、900~1300人規模。電子部品工場レベルでは、500人規模
プロフィール 詳細を見る
職歴
パナソニックデバイスSUNX竜野株式会社
- 担当 2018/2 - 2018/8
東芝半導体サービス&サポート株式会社
- 参事 2015/10 - 2017/10
株式会社東芝
- グループ長(課長) 1974/4 - 2015/9
加賀東芝エレクトロニクス株式会社
- 主査 1999/4 - 2003/3
このエキスパートのトピック
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薄・反りウエハ非接触浮上搬送ハンド技術についてについて話せます
¥30,000~■背景 半導体製造においては、近年微細化を進めると共に省エネ・電気抵抗低減や反応スピードUP化・コンパクト化が進められてきており、その中における半導体ウエハは薄化により厚さ100μmを切るウエハが半導体製造工程で作られています。SiやSiCインゴットを引き上げてスライング後のポリッシング工程を初め、半導体回路形成工程における製造ラインの中のバックグラインド工程やポリッシング工程、場合によってはCMP工程、その他裏面電極形成におけるメタル膜の成膜工程などで薄ウエハや反りウエハが発生しています。それらを解決するために薄・反りウエハの非接触浮上搬送ハンドの開発を実施。 ■話せること 薄・反りウエハの非接触浮上搬送ハンド技術については、従来大型のボディーを持った搬送ハンドは若干見受けられることもありますが、それでは、ウエハカセット(主に25枚収納)の溝部からの出し入れは不可能であり、また狭い上限空間がスペースでの搬送も不可能となっていましたが、それらを解決した搬送ハンドはハンド厚さが2mm程度と薄く、通常のよく使用されるセラミックス搬送ハンドの厚さと同等であり空気の気流を利用して、まずは反ったウエハ(反り量:5~10mm程度)を矯正して平坦化し、ウエハが外周に飛び出さないように外周にガイドピンを設け(ウエハ外周端面のほんの一部のみ接触)、そのままウエハを浮上させて、更に非接触で搬送することが出来ます。よって、ウエハは平坦化されていますので、カセットからの出し入れや狭いスペースからの搬送が可能となり、また、搬送後のウエハ形状は、元の反ったウエハや薄ウエハに戻ります。 ■その他 半導体ではウエハ裏面をバックグラインド研削・ポリッシング研削によるウエハの薄化を行っています。また半導体回路を形成するためウエハ裏面側にメタル膜を成膜するため表面側と裏面側の膜の伸び縮みに応じてウエハが反ったりします。そのため今回の搬送ハンドの開発に至りました。ウエハは搬送完了後には元の反りウエハ(反り5~10mm程度)に戻るためウエハカセットは2~3倍溝ピッチのカセットを使用しています。
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半導体製造における静電チャックについてについて話せます
¥30,000~■背景 半導体プロセス生産技術において、半導体製造工程における製造装置の各種部品や備品の選定及びメーカー指定等を実施。静電チャックにおいては、各製造工程での仕様も異なり代表的な工程を主に事例をご紹介すると共にその特徴なども合せてお話しさせて頂きます。主な事業としては、ディスクリート半導体・パワー半導体・光半導体・IC・一部集積回路半導体等の半導体製造となります。 ■話せること 静電チャックにおける使用製造工程・メーカー及びその特徴・種類・性能特徴(温度ゾーン分離・使用温度・材質・主な構造等)・動向・現状と課題・価格帯・チャック表面処理・吸着力・チャック再生・特殊静電チャック紹介(表面電位OVや充電式)・その他考えられる他工程用途などです。追記としましては、一般的なポーラスチャックも含めお話しが出来ます。 ■その他 半導体製造工程における製造装置の導入にあたり、自社及び装置メーカーとの協議打ち合せ等を踏まえて静電チャック仕様の確認や性能及び保守メンテナンスの有り方などを纏め静電チャックの特徴を精査したりしています。また静電チャック交換や購入及び使用用途先に応じた価格帯の確認も同様に進めております。
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半導体(電子部品)外観検査及び装置について話せます
¥40,000~■背景 半導体製造(前工程及び一部後工程)においてはプロセス生産技術部(課長)及び電子部品製造(基板実装)生産技術課(主担当)を行っていました。半導体では目視における外観検査や自動機による外観検査に携わり、作業者の人選及び配置と検査用顕微鏡や半自動デバイスの選定等を実施。自動機については、画像処理を含めた検査装置の調査~導入装置の選定及び仕様の立案~導入立上げを実施。電子部品では、自動機を主体とした検査装置の導入を実施。 ■話せること 半導体製造における外観検査の製造工程と検査内容、不良項目、検査装置類と価格及び装置メーカー、検査サイズや検査速度、自動機の画像処理課題、求められている背景、目視検査の工数などにつきお答えさせて頂きます。また電子部品基板実装工程での検査項目や速度、中には3D検査などにつきお答えさせて頂きます。 ■その他 半導体製造の外観検査では、ウエハ検査、チップ検査を主体とした目視検査と自動機による検査を実施。またそれに伴う仕様や装置選定~価格(見積リ)決定を実施。その他の工程や解析評価における検査については、装置メーカー~概算価格の調査を実施。電子部品の基板実装工程では、自動機による検査仕様や検査項目の選定及び価格(見積リ)の取り決めを実施。