有機EL・液晶パネル生産における露光装置と各種計測器の連携について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■ 液晶・有機ELパネルのフォトプロセスでは露光パターンの線幅や重ね合わせ精度の検査、および表示ムラの検査等が行われます。
 この過程でどのような検査装置が使用されるか、またそれらのデータがどのように活用してフォトプロセスの改善を行うかについてお話しできます。

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氏名:開示前

1984年~2014年まで精密機械メーカで約30年間半導体や液晶・有機EL用露光装置の開発を担当しました。主に装置全体を動かすソフトウェアの開発、アライメントアルゴリズムの開発、自動化システムの開発、各種解析ソフト開発、およびユーザアプリケーションの開発を行いました。
2014年~2018年はディスプレイメーカで、露光装置を用いたフォトプロセスの生産性向上や精度向上、および計測器と統合した自動露光システムの開発を行いました。
2019年からは技術コンサルタントとして精密機械関連のコンサルタントを行っています。2021年10月からプラント系企業でISO関連の業務を担当しています。技術コンサルタントは継続しています。


職歴

職歴:開示前


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