スマホ向けG6世代の液晶・有機EL用露光装置の最新技術動向について話せます
G6世代露光装置は主にスマホやVR等の小型高精細用途に使用されます。最新装置は解像度1μm程度に到達しています。この解像力を実生産で実用するために種々の新機能が付加されてきています。新機能がどのようなものか、また使いこなすためにどのような条件が必要かお話しできます。
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このエキスパートのトピック
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液晶・有機ELパネルのフォト工程を支える大規模ソフトシステムについて話せます
問い合わせ■背景 液晶・有機ELパネルの生産ラインのフォト工程の技術革新を担当するタスクフォースのチームリーダ ■話せること フォトプロセスでも露光に関する各種データ量は膨大で、それらを収集、解析して工程改善を行うことが重要になっている。 その為にはいくつかのソフトウェアシステムを用意し、活用しなければならない。レシピの管理に始まり、装置の事前診断、露光機と計測器間のデータFeedback、エラーログ管理、マクロデータと装置の関連付けなど、ソフトウェアシステムの実際の全体像と扱う具体的データについてお話しできます。
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品質工学（タグチメソッド）の製品開発への適用をお話しできます
¥30,000~■ 具体的な経験の内容 ■ 実績や成果 精密機器のステージのステッピング時間を10％短縮した ■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか ステッピング時間に関係するパラメータが多数あり、いくつかのパラメータを振って実験してみたが 優位性を確認できなかった。そこでタグチメソッドを用いて設計パラメータの最適化検討を行い、 求めたパラメータの組み合わせに基づいて実験を行った。そこから最適なパラメータを求めることが できた。 ■ 業界構造（トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等）の知見の有無 ■ 関連する論文やブログ等があればURL ■ お役にたてそうと思うご相談分野 装置の設計などにおいてロバストな条件を見つけ出したい場合
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有機EL・液晶パネル生産における露光装置と各種計測器の連携について話せます
¥30,000~■ 液晶・有機ELパネルのフォトプロセスでは露光パターンの線幅や重ね合わせ精度の検査、および表示ムラの検査等が行われます。 この過程でどのような検査装置が使用されるか、またそれらのデータがどのように活用してフォトプロセスの改善を行うかについてお話しできます。