液晶・有機ELパネルのフォト工程を支える大規模ソフトシステムについて話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
液晶・有機ELパネルの生産ラインのフォト工程の技術革新を担当するタスクフォースのチームリーダ

■話せること
フォトプロセスでも露光に関する各種データ量は膨大で、それらを収集、解析して工程改善を行うことが重要になっている。
その為にはいくつかのソフトウェアシステムを用意し、活用しなければならない。レシピの管理に始まり、装置の事前診断、露光機と計測器間のデータFeedback、エラーログ管理、マクロデータと装置の関連付けなど、ソフトウェアシステムの実際の全体像と扱う具体的データについてお話しできます。

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氏名:開示前

1984年~2014年まで精密機械メーカで約30年間半導体や液晶・有機EL用露光装置の開発を担当しました。主に装置全体を動かすソフトウェアの開発、アライメントアルゴリズムの開発、自動化システムの開発、各種解析ソフト開発、およびユーザアプリケーションの開発を行いました。
2014年~2018年はディスプレイメーカで、露光装置を用いたフォトプロセスの生産性向上や精度向上、および計測器と統合した自動露光システムの開発を行いました。
2019年からは技術コンサルタントとして精密機械関連のコンサルタントを行っています。2021年10月からプラント系企業でISO関連の業務を担当しています。技術コンサルタントは継続しています。


職歴

職歴:開示前


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