半導体・有機EL・液晶用露光装置開発技術、装置運用方法、フォトプロセスの自動化、精度向上に関しお話できます
■ 具体的な経験の内容
■ 実績や成果
半導体や液晶用露光装置としてはステッパーやスキャナーの開発を手掛け、常に先端機器の開発に取り組みました。液晶用ではマルチレンズ方式のスキャナーの発明に貢献しました。露光装置の加工精度の向上に継続的に取り組みました。またユーザ向けに各種アプリケーションソフトなどの開発も行い提供しました。
■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか
新しい原理の導入などでは、自分のアイディアだけでなく周囲のメンバーの意見や考えに耳を傾け、よいアイディアを拾い上げながらまとめ上げていく姿勢が需要だと思います。
また、開発現場やユーザ先の運用現場の情報を重視して課題解決に取り組む姿勢を大事にしてきました。
■ 業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無
有機ELや液晶業界における製品トレンド、フォトプロセスなどの課題やロードマップなどの知見は豊富です。
■ 関連する論文やブログ等があればURL
■ お役にたてそうと思うご相談分野
露光装置、計測装置などの精密機器の開発や精度課題など。有機ELや液晶パネルのフォトプロセス技術やプロセス管理の自動化技術など。
■その他
地域: 日本及び韓国
役割: 露光装置開発の経験30年で、開発担当からマネジメントまで経験。有機ELや液晶パネルの生産ラインのフォト工程の専門チームで4年間プロジェクトリーダ
規模: 露光装置は会社規模は6000人。有機EL及び液晶パネル製造会社は30000人。
プロフィール 詳細を見る
職歴
職歴:開示前
このエキスパートのトピック
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液晶・有機ELパネルのフォト工程を支える大規模ソフトシステムについて話せます
問い合わせ■背景 液晶・有機ELパネルの生産ラインのフォト工程の技術革新を担当するタスクフォースのチームリーダ ■話せること フォトプロセスでも露光に関する各種データ量は膨大で、それらを収集、解析して工程改善を行うことが重要になっている。 その為にはいくつかのソフトウェアシステムを用意し、活用しなければならない。レシピの管理に始まり、装置の事前診断、露光機と計測器間のデータFeedback、エラーログ管理、マクロデータと装置の関連付けなど、ソフトウェアシステムの実際の全体像と扱う具体的データについてお話しできます。
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品質工学(タグチメソッド)の製品開発への適用をお話しできます
¥30,000~■ 具体的な経験の内容 ■ 実績や成果 精密機器のステージのステッピング時間を10%短縮した ■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか ステッピング時間に関係するパラメータが多数あり、いくつかのパラメータを振って実験してみたが 優位性を確認できなかった。そこでタグチメソッドを用いて設計パラメータの最適化検討を行い、 求めたパラメータの組み合わせに基づいて実験を行った。そこから最適なパラメータを求めることが できた。 ■ 業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無 ■ 関連する論文やブログ等があればURL ■ お役にたてそうと思うご相談分野 装置の設計などにおいてロバストな条件を見つけ出したい場合
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有機EL・液晶パネル生産における露光装置と各種計測器の連携について話せます
¥30,000~■ 液晶・有機ELパネルのフォトプロセスでは露光パターンの線幅や重ね合わせ精度の検査、および表示ムラの検査等が行われます。 この過程でどのような検査装置が使用されるか、またそれらのデータがどのように活用してフォトプロセスの改善を行うかについてお話しできます。