半導体・有機EL・液晶用露光装置開発技術、装置運用方法、フォトプロセスの自動化、精度向上に関しお話できます

エキスパート

氏名:開示前


■ 具体的な経験の内容

■ 実績や成果
半導体や液晶用露光装置としてはステッパーやスキャナーの開発を手掛け、常に先端機器の開発に取り組みました。液晶用ではマルチレンズ方式のスキャナーの発明に貢献しました。露光装置の加工精度の向上に継続的に取り組みました。またユーザ向けに各種アプリケーションソフトなどの開発も行い提供しました。

■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか
新しい原理の導入などでは、自分のアイディアだけでなく周囲のメンバーの意見や考えに耳を傾け、よいアイディアを拾い上げながらまとめ上げていく姿勢が需要だと思います。
また、開発現場やユーザ先の運用現場の情報を重視して課題解決に取り組む姿勢を大事にしてきました。

■ 業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無
有機ELや液晶業界における製品トレンド、フォトプロセスなどの課題やロードマップなどの知見は豊富です。

■ 関連する論文やブログ等があればURL

■ お役にたてそうと思うご相談分野
露光装置、計測装置などの精密機器の開発や精度課題など。有機ELや液晶パネルのフォトプロセス技術やプロセス管理の自動化技術など。

■その他
地域: 日本及び韓国
役割: 露光装置開発の経験30年で、開発担当からマネジメントまで経験。有機ELや液晶パネルの生産ラインのフォト工程の専門チームで4年間プロジェクトリーダ
規模: 露光装置は会社規模は6000人。有機EL及び液晶パネル製造会社は30000人。

プロフィール 詳細を見る


氏名:開示前

1984年~2014年まで精密機械メーカで約30年間半導体や液晶・有機EL用露光装置の開発を担当しました。主に装置全体を動かすソフトウェアの開発、アライメントアルゴリズムの開発、自動化システムの開発、各種解析ソフト開発、およびユーザアプリケーションの開発を行いました。
2014年~2018年はディスプレイメーカで、露光装置を用いたフォトプロセスの生産性向上や精度向上、および計測器と統合した自動露光システムの開発を行いました。
2019年からは技術コンサルタントとして精密機械関連のコンサルタントを行っています。2021年10月からプラント系企業でISO関連の業務を担当しています。技術コンサルタントは継続しています。


職歴

職歴:開示前


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