スパッタプロセス、スパッタリングターゲット材料選定について話せます

エキスパート

氏名:開示前


貴金属や磁性材料のスパッタプロセス 最適化。合金の添加材料の選定等。

■その他
いつごろ、何年くらいご経験されましたか?: 貴金属や磁性材料のスパッタリングプロセスに関する知見は、15年
ターゲットの材料に関しては約5年
どちらでご経験されましたか?: スパッタプロセスの知見は富士電機株式会社
ターゲットの知見は株式会社フルヤ金属
その時どのような立場や役割でしたか?: スパッタプロセスに関しては、課長補佐 ターゲット材料の選定、層構成デザイン、成膜プロセスの決定および量産立ち上げをまかされていました。
スパッタリングターゲットの開発に関しては主任として、製造方法の開発、顧客との折衝をまかされています。

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氏名:開示前

・TEMおよびXRDを用いた金属薄膜の評価。
・金属薄膜の成膜プロセス開発
・貴金属、非磁性・磁性材料のスパッタリングターゲット開発


職歴

職歴:開示前


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