熱流センサーの導入経験、活用事例について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
エンドユーザとして半導体装置、生産設備を設計、導入、検証した経験から特に太陽電池、半導体、FPD製造装置におけるプロセスで温度管理に関する課題をクリアするために温度プロファイルの重要性があり熱流センサを選定して最適なプロセス条件を見いだせた経緯があります。

■話せること
熱流センサを真空中のガラス基板に貼り付けて~250℃程度のホットプレート上に配置して蒸着させて熱の変化を計測しました。
導入・販売した熱流センサーメーカー
導入したセンサメーカとしてはセンサテクノス、クリマテックなどを使用した経験について話せます。

プロフィール 詳細を見る


氏名:開示前

半導体、FPD、太陽電池製造装置メーカの設計課長として検証装置及び量産装置の開発で培った装置開発技術と自動車メーカの生産技術部で対応したライン構築の経験を生かして生産装置の開発ができます。また流量計メーカの生産技術部部長として大手半導体製造装置メーカ各社と商品開発と生産ラインの設計開発の経験があります。プロトタイプでの事前検証でのフロントローディング設計及び量産装置での歩留まり改善、装置開発、商品開発のための要素技術についてわたくしの経験からお話ができます。


職歴

職歴:開示前


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