ロータリーエンコーダの市場・技術動向について話せます

■背景
半導体製造装置に搭載されるエンコーダに求める要件は微細化の要求により変化してきている。信頼性、耐久性、冗長性、サイズ、中空形状、耐環境性 など特に、耐環境性能の観点で生じている課題などがあります。これらを踏まえてロータリーエンコーダの市場・技術動向などについて装置メーカとしてのお話ができます。

■話せること
発光素子、受光素子も様々な方式がありこれらも精度と安定性をが求められる用途で使い分けます。
またコードホイールも樹脂製と金属製があり分解能の高さと扱いやすさの両立が求められています。
半導体装置は構造が複雑化していることから電源遮断時でも座標が記憶されるためほとんどがアブソリュートを採用しております。また数百億円の装置規模の装置を設計開発しておりますので各社の市場動向は経験の範囲でお話できます。
・エンコーダの特性別（検出方式・タイプ）ごとの市場動向・技術動向（市場規模の推移（見込み）、需要が増加する技術等）
露光装置では、稼動中にエラーが発生した場合は装置稼働率の低下、位置計測誤検知による不良素子の製造等の課題について。
光学式エンコーダにて位置検出を行なう際に、コンタミ等の付着によるエンコーダ信号の読取りエラーを排除することを目的とする。さらには、半導体デバイスを製造する際に、稼働率を向上し、不良素子の製造等を低減する方法など。