静電チャック(セラミック製)の製造上の課題解決についてについて話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
J-R型及びクーロン型静電チャックの量産化に当たり、グループ責任者として、静電チャック基板の製造プロセス上のいろいろな課題解決に当たった。

■話せること
・原料粉アルミナの造粒粉特性、体積抵抗率の調整方法、焼成体の反り矯正、色むら・ボツ対策、クラック対策などについて
(どのような要因が考えられるか、対策の方向性を説明します)
・セラミックの適切な分析方法について(SEM、EDX)

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氏名:開示前

水回り総合住宅機器メーカーで、30年にわたり、セラミック部品の生産技術開発、品質管理業務を経験し、その後、全社の環境マネジメントシステム(ISO14001)の事務局業務に4年間携わりました。量産移行ステップでの様々な技術課題をクリアーしてきた経験を生かし、量産化での技術ポイント、課題解決の進め方を提案し、量産立ち上げに貢献できます。
<主な経験業務>
・静電チャック(セラミック製/クーロン型)の量産化対応
・水栓金具向け/DLCコーティングセラミックバルブの量産立ち上げ
・水栓金具向け/セラミックバルブの技術開発
・半導体セラミックパッケージ部品の量産化対応


職歴

職歴:開示前


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