静電チャック(セラミック製)の製造上の課題解決についてについて話せます
■背景
J-R型及びクーロン型静電チャックの量産化に当たり、グループ責任者として、静電チャック基板の製造プロセス上のいろいろな課題解決に当たった。
■話せること
・原料粉アルミナの造粒粉特性、体積抵抗率の調整方法、焼成体の反り矯正、色むら・ボツ対策、クラック対策などについて
(どのような要因が考えられるか、対策の方向性を説明します)
・セラミックの適切な分析方法について(SEM、EDX)
■背景
J-R型及びクーロン型静電チャックの量産化に当たり、グループ責任者として、静電チャック基板の製造プロセス上のいろいろな課題解決に当たった。
■話せること
・原料粉アルミナの造粒粉特性、体積抵抗率の調整方法、焼成体の反り矯正、色むら・ボツ対策、クラック対策などについて
(どのような要因が考えられるか、対策の方向性を説明します)
・セラミックの適切な分析方法について(SEM、EDX)