半導体工場での生産性向上に関わる生産技術全般について話せます

エキスパート

氏名:開示前


2005年10月13日工業技術会株式会社主催「半導体用材料ガスにおける供給・制御と安全対策の実際」において講演を行った。
2006年8月月間マテリアルステージに「半導体製造工場の防災対策と危機管理」を執筆。
資格:特定高圧ガス取扱い主任者

■その他
いつごろ、何年くらいご経験されましたか?: 1978年~2013年半導体工場に在勤。当初はDRAM の生産が主であり2000年以降はロジック品へシフトした。
どちらでご経験されましたか?: 株式会社日立電子エンジニアリングに入社後、親会社である株式会社日立製作所半導体事業部武蔵工場生産技術部にて半導体工場での業務を開始、現ルネサスエレクトロニクス那珂工場まで
日立製作所の半導体工場を経験している。
その時どのような立場や役割でしたか?: 工場の立上計画を策定し実行。生産装置の選定、仕様決定から立上、試作までを行うチームを指揮して行く。特に、危険なガスを用いるCVD工程を取りまとめ、ガス使用における安全基準を策定した。
一番誇りに思う成果はなんでしたか?: 日立製作所半導体工場における安全監視システムを構築し安全基準を策定した。またその遵守状況の審査を任されていた。
一番の課題はなんでしたか?また、その課題をどう乗り越えましたか?: 各工場の創立時期が異なり、装置の持っている機能に差が大きく標準化が困難であった。標準のインターフェイスユニットを作成しこれを持たせることで解決した。
どんな人にアドバイスを提供したいですか?: 生産現場の生産性、安全性を向上させたいと、新規に工場を立ち上げたいと考えている方々は勿論のこと、大手装置メーカの下請け的な立場から提案型へ転換を図りたい方々へ装置ユーザの立場からアドバイスして行きたい。

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氏名:開示前

半導体装置及び関連技術について企業様のご依頼に基づきセミナー講師を行っております。
装置メーカについては国内に限らず韓国にも注目しています。


職歴

浅香エンジニアリング

  • 2020/6 - 現在

株式会社エム・ケイ・ソリューションズ

  • 代表取締役 2014/7 - 2019/10

日立電子エンジニアリング株式会社(現日立ハイテクファインシステムズ)

  • センター長 2008/4 - 2014/3
  • 部長 2000/4 - 2008/3
  • 主任技師 1990/4 - 2000/3
  • 技師 1985/4 - 1990/3
  • 1978/4 - 1985/3

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