可燃性ガスなどの安全な利用方法について話せます

■背景
半導体製造に35年間携わり中でも可燃性ガス、有機溶剤などを用いて成膜を行うCVD装置を担当しておりました。半導体工場での事故の大半はこのようなガス、有機溶剤の取り扱いに伴って発生しています。35年間の中でも事故は発生しておりその都度先頭に立って事後処理、対策を行ってきました。
起業後はこの経験を活かし安全対策の支援を行っています。

■話せること
CVD装置の場合ガスの供給から消費、除害までを一貫した考え方に沿って構築していくことが重要です。
ガス供給装置、CVD装置、真空ポンプ、除害装置などそれぞれに異なるメーカの機器を連動させなければ安全には運用できません。加えて適切なメンテナンスも必要です。
事故はこのようなつなぎの部分で発生しています。ですからシステム的に対処するべき事案に対しては人に頼らない対策を講じなければなりません。
一方運用に関して安全基準を策定するなどソフト面の対策も必要です。
半導体の製造には多種多様な機器があり操作方法も異なっており緊急時の操作も一様ではありません。これをシステム側で単一な操作で安全に処置できるようにすることが求められます。
このような安全システムを構築し工場全体の安全性を高めて来ました。

■その他
以上の経験に基づき社外講演や講習会を行っています。