薄膜の結晶成長過程と電気特性との関係について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
長年、酸化物薄膜、窒化物薄膜、金属電極薄膜の研究開発を行ってきました。
その中で、薄膜の結晶成長過程が素子特性に大きな影響を与えていることを証明し、実用化に繋げて来ました。

■話せること
酸化物薄膜、窒化物薄膜、金属薄膜の開発において、エピタキシャル関係が重要であること、また、自由エネルギーが大きく関わっていること、薄膜形成装置に必要な要件などについて、例を挙げて説明します。

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