MEMS素子開発、プロセス技術開発について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■背景
MEMS(シリコンマイクロマシニング)に関して、素子設計、プロセス技術開発を指揮した経験があり、微細加工技術、薄膜技術、電極形成技術に知見があります。

■話せること
MEMS(シリコンマイクロマシニング)技術を用いて、静電型角速度センサ(ジャイロセンサ)、加速度センサ、赤外線センサを開発した経験についてお話しします。また、MEMS加工技術を用いて、高周波用フィルタ(FBAR)に応用し、また、他の素子に展開して行った、技術プラットホーム、標準プロセスについての考え方もご紹介します。

■その他
現在では、MEMSはファウンドリーへの依頼が主流になっており、MEMS素子生産に関するビジネスモデルに関しても相談にのります。

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