半導体、液晶露光装置開発の技術サポートができます。最新の有機EL生産のフォト工程の経験をお話しできます

有機ELパネルでは高精細化が進み、フォト工程においてパターンの細線化と重ね合わせ精度が厳しくなってきています。私は現有の露光装置の運用を最適化することでスペック以上の性能を引き出すことを実現してきました。また。既存装置の改造をメーカに提案、実施することで新たな装置へ改良することも実施しました。露光装置の知識が豊富なのでこのような提案、実施が可能です。
また、重ね合わせ計測器と露光装置をネットワークで統合し、それらをマスターコンピュータで最適な自動化を実現するシステム開発も行いました。マスターコンピュータに特殊なアルゴリズムを組み込むことで、重ね合わせ精度を高め、プロセス担当者の負荷を極限まで減らすことに成功しました。
有機ELや液晶パネルの生産ラインのフォトプロセスのログ解析システムも開発し、トラブルを解析し、スピーディに解決しました。

■その他
地域: 日本及び韓国
役割: 現場経験からマネジメントまで経験しています
規模: 露光機は100人希望で開発。有機ELパネルはフォトプロセスTFとして20人規模。