半導体・液晶用露光装置の技術及びそれらの効率的運用方法や自動フィードバックシステムに関しお話できます
有機ELや液晶パネルのフォトプロセスにおいてパターンの重ね合わせ精度は最も重要なファクターです。精度を維持するために露光装置と重ね合わせ計測器をネットワークで結び、それらを専用のコンピュータで管理します。計測結果をフィードバックしますが、専用コンピュータに組み込まれるアライメント補正アルゴリズムは線形補正のみでした。私はここに非線形アルゴリズムをマップ補正アルゴリズムを開発して組み込みました。
これにより、重ね精度が飛躍的に向上し、高精細なパネルの生産を可能にしました。
またこのシステムによりフォト現場の担当者の負担を大幅に減らし、省力化に寄与しました。
■その他
地域: 日本及び韓国
役割: 開発マネジメント及び生産技術プロジェクトリーダー
規模: 露光装置会社6000人、有機ELパネル会社30000人
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職歴
職歴：開示前
このエキスパートのトピック
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液晶・有機ELパネルのフォト工程を支える大規模ソフトシステムについて話せます
問い合わせ■背景 液晶・有機ELパネルの生産ラインのフォト工程の技術革新を担当するタスクフォースのチームリーダ ■話せること フォトプロセスでも露光に関する各種データ量は膨大で、それらを収集、解析して工程改善を行うことが重要になっている。 その為にはいくつかのソフトウェアシステムを用意し、活用しなければならない。レシピの管理に始まり、装置の事前診断、露光機と計測器間のデータFeedback、エラーログ管理、マクロデータと装置の関連付けなど、ソフトウェアシステムの実際の全体像と扱う具体的データについてお話しできます。
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品質工学（タグチメソッド）の製品開発への適用をお話しできます
¥30,000~■ 具体的な経験の内容 ■ 実績や成果 精密機器のステージのステッピング時間を10％短縮した ■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか ステッピング時間に関係するパラメータが多数あり、いくつかのパラメータを振って実験してみたが 優位性を確認できなかった。そこでタグチメソッドを用いて設計パラメータの最適化検討を行い、 求めたパラメータの組み合わせに基づいて実験を行った。そこから最適なパラメータを求めることが できた。 ■ 業界構造（トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等）の知見の有無 ■ 関連する論文やブログ等があればURL ■ お役にたてそうと思うご相談分野 装置の設計などにおいてロバストな条件を見つけ出したい場合
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有機EL・液晶パネル生産における露光装置と各種計測器の連携について話せます
¥30,000~■ 液晶・有機ELパネルのフォトプロセスでは露光パターンの線幅や重ね合わせ精度の検査、および表示ムラの検査等が行われます。 この過程でどのような検査装置が使用されるか、またそれらのデータがどのように活用してフォトプロセスの改善を行うかについてお話しできます。