半導体ウェハー製造の 拡散 洗浄 エピタキシャル成長 CVD成膜及び 品質管理についてお話できます。
■ 具体的な経験の内容
ウェハー製造工程全般
■ 実績や成果
日立と共同でのメモリー開発 日本で初めての8インチ量産ラインの立ち上げ
■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか
8インチウェハーの拡散工程での熱ひずみの緩和を実験計画法により最適化
■ 業界構造（トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等）の知見の有無
バイポーラICからSIGE成膜 GAnの知見
■ 関連する論文やブログ等があればURL
■ お役にたてそうと思うご相談分野
生産管理、装置管理、品質管理、工程設計
■その他
役割: 技術
規模: 1000人以上
地域: 大分県日出町 福島県会津若松市
プロフィール 詳細を見る
職歴
晶盛機電日本株式会社
- 顧問 2019/9 - 2021/8
テキサスインスツルメンツ
- 課長 1980/2 - 2015/1
このエキスパートのトピック
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新規プライムウエハーの評価について話せます
¥50,000~■背景 プライムウエハーのコスト削減のため新たな供給元のプライムウエハーを 評価する必要がある。 ■話せること 新規プライムウエハーの評価手順等
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廃棄Si ウエハー再生について話せます
¥50,000~■背景 半導体製造ではプライムウェハーの品質保証のため多くの モニターウェハーを使用している。 一度使使用したモニターウェハーを再生利用することでコスト削減につながる。 ■話せること モニターウエハーやプライムウエハーの再生利用について
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超純水供給設備について話せます
¥50,000~■背景 ウェハの品質評価 ■話せること 超純水が影響するウェハー品質