半導体製造生産技術装置開発プロセス改善最新クリーンルーム実現について話せます

エキスパート

氏名:開示前


■ 具体的な経験の内容
 ・半導体(ウエーハ工程全般&ダイソータ工程)の機械装置開発・立上げ&裏面工程プロセス開発・立上げ&
  生産技術全般(コスト削減・装置設備改善・品質改善・省エネ・環境対策・地震対策・設備メンテ対応・中  古設備の選定・ウエーハ搬送技術開発等々)を実施実現。
 ・新規・既存クリーンルーム建設の構築実現。(クリーン度の選定や気流解析等含め)
 ・その他労働安全衛生及び派遣・請負遵法対応における社内規程整備。
 ・半導体化学薬品や特殊ガスに対応した特殊部品や特殊材料や形状の選定を実施。
 ・薄ウエーハ(80~120μm厚)で反った(5~10mm)ウエーハの非接触浮上搬送技術の開発実現。
 ・機械・装置の半導体レベルへの品質向上(デザイン性含め)と改善。
 ・機械・装置の高精度な監視・管理システムの構築実現(トラブル対応時のリードタイム短縮)。
 ・ウエーハorチップの外観検査や大電流・電圧のテストハンドラー開発実現。
 ・設備・装置の安価な地震対策を実施。
 ・ダイシング・ブレーキングプロセスの構築実現。
 ・薄ウエーハの製造プロセス構築実現。
 ・チップIDマーク(100μ角内への二次元バーコード印字)構築
 ・その他半導体関連における投資・企画・技術・製造・品質・コスト削減など多岐に渡り業務遂行。
■ 実績や成果
 ・ウエーハ工程&ダイソータ工程含めた装置の開発・設計~製作・立上げを実施(Total500台以上) 
 ・薄ウエーハ(100μm厚前後)を中心としたウエーハ裏面プロセスの開発・搬送技術開発
 ・生産技術全般業務においては、コスト削減を中心に数百億円の改善を実施。
 ・半導体関連の多種・多様に渡り成果・実績を上げた。(Total金額換算では概算300億円以上の削減効果)
■ そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか
 ・各種業務発生時の課題解決においては、IE手法や過去の経験や自身の持っている先見性と各種情報・
  会議・ミーティングにおける議論・討議により解決を図った。
■ 業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無
 ・自動車業界(自動運転・ハイブリッド車等)・新幹線や各種電車・スマホや携帯・家電関係等、多種に渡り
  半導体を使用。
■ 関連する論文やブログ等があればURL
 ・特に無し。
■ お役にたてそうと思うご相談分野
 ・液晶・半導体業界・空調業界・電池業界・化合物(SiC)業界
 ・生産製造ラインを持つ業界の改善(生産性・コスト削減・品質改善)
 ・半導体や液晶や電池の機械・装置開発&製作メーカ
 ・樹脂・ゴム・金属の材料・部品メーカ

■その他
地域: 兵庫県揖保郡太子町及び石川県白山市
役割: 主査・課長の管理職及び半導体(ウエーハ)工程全般・ダイソータ工程中心の生産技術開発・装置開発
規模: グループ会社含めた社員12万人前後

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氏名:開示前

大手企業での職歴から半導体の前工程(ウエーハ工程全般)と裏面工程(裏面電極)とダイシング・バックグラインドやダイソータ工程(電気特性テスト)によるクリーンルーム工程全般における製造装置の開発設計~外部メーカ製作による装置仕様書の作成及び装置立上げを行うと共に半導体装置及び部品メーカへのコスト削減や半導体の装置作り(究極的)に関しての設計・製作指導(約20~30社)、また自社半導体製造ラインの生産効率UPや設備・装置改善の実施を行い、IE手法等を用いた製造ラインの種々改善(工程改善含め)と処理能力UPや生産性向上・品質改善に努めました。一部は前工程プロセスの改善や開発の実施及び付帯設備(除害装置・ドライポンプ・チラー等)の導入立ち上げの実施と共に外観検査装置の導入立ち上げも行い、化学薬品や純水を使用した装置(洗浄・エッチング)と合せ有機溶剤装置の安全対策も行っています。更に最新のクリーンルーム建屋構造や部屋の構築と製品環境下でのクラス1~10の実現及び既存建屋のクリーンルーム化(クラス10以下)の実施を行い、装置/設備の省エネ対策・環境対策(CO2削減)や省エネ活動を行うと共にBCPによる設備早期復旧や地震対策(6000台)も実施しました。その他ウエーハ裏面プロセスの開発と薄ウエーハや反りウエーハ(100μm厚前後)の搬送技術・プロセスの開発実現。また前工程プロセスにおける特殊部品や部材の選定と共にセラミックス関係の部材選定等も実施。また、特殊材料や化学薬品(一部半導体特殊ガス含め)における知識や経験(安全対策含め)を踏まえた装置開発・設計や製造ラインの構築等の指導も持ち合わせております。特に歩留り・品質クレーム削減に向けた装置の安定稼動への必要ポイントにつきましてご教示することが可能と考えております。また、施設管理支援業務における建屋内動力や純水設備の構築と排水・廃液処理等の環境維持等も実施。半導体製造装置における各種部品選定等も実施しております。一方では労働安全衛生業務、派遣・請負社員への遵法対応や社内規定の作成業務にも従事しTotal的なマネジメントを実施。労働安全衛生業務では、工場安全衛生会議や専門委員会幹事(機械・薬品)を踏まえ火災・労災事故にも遭遇し現場立会いや対策を講じた経験もあります。その他電子部品工場における生産技術による実装装置の開発や組立製造ライン改善・生産効率改善等も実施。プライベートではゴルフやハイキング・旅行を行ったりして過ごしております。宜しくお願い致します。 


職歴

パナソニックデバイスSUNX竜野株式会社

  • 担当 2018/2 - 2018/8

東芝半導体サービス&サポート株式会社

  • 参事 2015/10 - 2017/10

株式会社東芝

  • グループ長(課長) 1974/4 - 2015/9

加賀東芝エレクトロニクス株式会社

  • 主査 1999/4 - 2003/3

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