半導体製造に関連することについて、ある程度のことは何でも話せます。

  • 機械(半導体製造装置)
  • 研究開発

経験内容

具体的な経験の内容

東京エレクトロンAT及び東京エレクトロン九州にて、半導体製造装置のプロセス開発・チャンバー開発・装置開発を経験してます。
枚葉CVD/ALD装置(タングステン、タングステンシリサイド、チタン、窒化チタン、酸化チタン、酸化ストロンチウム、STO、ルテニウム、など)
枚葉洗浄装置(RCA洗浄、DHFエッチング、IPA乾燥、など)
各装置の改良開発・立ち上げ・フィールド対応など。
加えて、装置全体の機械部品・パーツ・電気ソフト系・搬送系についても、開発関与しております。

実績や成果

研究開発の現場リーダーとして業務にあたってました。
特許は国内で9件、米国に2件、韓国に2件、取得してます。

そのときの課題、その課題をどう乗り越えたか

各プロセスや装置全体としての課題は種々ありました。
基本的に課題解決は多くの人とつながることで解決してきました。

業界構造(トレンド/主要プレイヤー/バリューチェーン等)の知見の有無

ある程度のことは話せます

関連する論文やブログ等があればURL

お役にたてそうと思うご相談分野

半導体製造装置の開発・生産・プロセス・立ち上げ・リリースなど。
半導体製造装置に使用されるパーツ・薬品(液・ガス)など。
半導体業界に関わらず、メーカーにおける研究開発と人材育成に関すること。

地域

国内工場、客先メーカー工場

役割

研究開発の現場リーダー

規模

クライアント規模は、半導体製造メーカーならほとんど

期間
2007年 〜 2015年頃
関連する職歴
  • 学校法人豊栄学園 都城東高等学校 進路指導部長
  • 学校法人豊栄学園 都城東高等学校 自動車工業科学科長
  • JSR株式会社

氏名・職歴の開示について

氏名:(開示前)

学校法人豊栄学園 都城東高等学校 / 進路指導部長

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自己紹介

半導体製造プロセス開発(成膜、洗浄)及びフィールドサポートで8年経験を積み、現在は高校教育に携わっております。
プロセス開発、フィールドサポート、及び人材育成について相談に乗ることができると思います。
よろしくお願いいたします。

半導体プロセスについては、以下についてお話できます。
・成膜プロセス:CVD(タングステン・タングステンシリサイド・チタン・窒化チタン・酸化チタン・ルテニウム・酸化ストロンチウム・酸化ジルコニウム)、ALD(STO:ストロンチウムとチタンと酸化の三元型・タングステン)、成膜とエッチングを組み合わせたホール埋め込み性能改善、など
・洗浄プロセス:枚葉RCA洗浄、枚葉ウェット洗浄、IPA乾燥、スプレー物理洗浄、洗浄時の雰囲気効果、など
・共通して、カスタマーサポート、OJTなど若手教育

教育関係については、以下についてお話できます。
・キャリア教育
・理科教育(特に物理と化学)
・知的財産権に関する教育 など

職歴

  • 学校法人豊栄学園 都城東高等学校 /進路指導部長

    2017/4 在職中

  • 学校法人豊栄学園 都城東高等学校 /自動車工業科学科長

    2015/4 2016/3

  • 東京エレクトロン九州株式会社 /チームリーダー代理

    2011/7 2015/3

  • 東京エレクトロンAT株式会社

    2007/4 2011/6

  • JSR株式会社

    2005/9 2007/3

他の経験